Simulation numérique des décharges RF dans les gaz moléculaires

Le but de cette thèse est de trouver une bonne compréhension des processus physico-chimiques qui se produisent dans les plasmas froids à basse pression et à pression atmosphérique. Cela est achevé par le développement d’un modèle d'une décharge à couplage inductive crée par une boucle rf placée dans une enceinte cylindrique et de trois modèles fluides 1-D d'une décharge capacitive RF créée dans 100 % de la vapeur d'eau et dans un mélange 5 % de vapeur d'eau avec 95 % d'Hélium.