Étude d’un fluxmètre gazeux à pression constante

La traçabilité des mesures en basses pressions absolues est réalisée dans les laboratoires nationaux de métrologie par la méthode dite de l’expansion continue. Pour mettre en œuvre cette méthode et améliorer ses incertitudes de mesure dans le domaine des pressions absolues inférieures à 10-3 Pa, le Laboratoire national de métrologie et d’essais (LNE) développe un fluxmètre gazeux à pression constante dans la gamme de flux gazeux comprise entre 1•10-8 Pa•m3•s-1 et 1•10-3 Pa•m3•s-1 (4•10-12 mol•s-1 à 4•10 7 mol•s-1) avec une incertitude élargie recherchée à 1,0 %. Dans cet ouvrage, les étapes de la conception de la nouvelle référence de flux gazeux au Laboratoire commun de métrologie sont décrites. Le fluxmètre gazeux permet également l’étalonnage des fuites de gaz étalons. Les résultats d’étalonnage d’une fuite capillaire sont présentés et comparés aux résultats obtenus par l’étalonnage avec la méthode de remontée de pression, à l’aide du fluxmètre gazeux à volume constant. Un bilan d’incertitudes sur le flux gazeux mesuré appliqué à l’utilisation du fluxmètre gazeux dans le cadre de l’expansion continue est établi.